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氫傳感器技術
時間:2013-06-07 00:00:00 來源:本站原創(chuàng) 字號:[ ]

氫傳感器技術

英國女王貝爾法斯特大學(QUB)研制的這項新設備目前在位于謝菲爾德的EPSRC國家III-V實驗室制造。基本器件是將一個很薄的Pd條(長度160μm,寬度4μm且厚度<10nm)沉積在一個n-InP襯底上。該設備可以被定制用于10秒時間尺度、氫水平1%的檢測。該器件在標準的半導體加工設備采用標準的半導體制造技術制造,因此低成本是其突出特點。即使在非常溫和的光刻分辨率下(例如線寬度為4μm),也可生成非常有效的設備。

技術成熟度:實驗室成果

外方提議合作方式:合作研究或技術許可的方式合作。

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